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MEMS扬声器的难点与瓶颈
MEMS 扬声器这几年有点小火。但是却难以普及,为什么呢?1. 技术层面:- 制造工艺复杂:MEMS 扬声器需要在微纳米尺度下塑造机械结构,制造精度要求极高。这涉及到多种复杂的半导体制造技术和工艺,如光刻、蚀刻、薄

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